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沈天慧


  沈天慧教授,化学专家。浙江嘉善人,1923年4月出生。1949年毕业于上海大同大学化工系。1957年—1959年留学苏联,进修半导体材料。上海交通大学信息存储研究中心研究员、上海交通大学学术委员会委员、上海交通大学材料与化工研究院顾问、微纳米科学技术研究院研究员、微纳米加工技术重点实验室学术委员会主任,现从事微机电系统研究。1980年当选为中国科学院院士(学部委员)。

  曾在中国科学院长春应用化学研究所从事用三氯氢硅法制纯硅的研究工作。1966-1986年在陕西临潼县航天工业部771研究所,从事半导体材料及大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺研制出大规模集成电路数种,当时在国内处于领先地位。1987年至今,在上海交通大学信息存储研究中心从事磁头磁盘的研制工作。

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